案例一：半导体芯片制造厂有机废气处理

项目背景：半导体制造过程中光刻、蚀刻、清洗等环节产生高浓度含异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等的有机废气，需高效处理以符合环保标准。

废气成分：异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等VOCs。

处理工艺：

预处理：高效过滤器去除颗粒物和水分。

冷凝回收：深冷或压缩制冷技术冷凝回收部分溶剂，降低VOCs浓度。

活性炭吸附：剩余低浓度废气通过活性炭吸附塔处理。

热再生：活性炭饱和后热空气再生，解吸废气进行燃烧或催化燃烧。

最终效果：VOCs浓度大幅降低，实现达标排放，活性炭再生降低运营成本。

案例二：涂装车间高浓度VOCs治理

项目背景：涂装作业产生含苯、甲苯、二甲苯等有害VOCs的废气，具有间歇性排放、风量大、浓度波动大的特点。

废气成分：苯、甲苯、二甲苯等VOCs。

处理工艺：

全面收集：抽风系统收集喷涂区域废气。

预处理：干式过滤器去除漆雾颗粒。

沸石转轮吸附：连续吸附低浓度废气，热气流脱附浓缩VOCs。

RTO焚烧：浓缩废气高温燃烧，转化为无害物质。

最终效果：VOCs去除率≥98%，排放浓度≤20 mg/m³，年运行成本节约约600万元，能耗降低40%。

案例三：化工厂合成车间废气处理

项目背景：化工厂合成反应产生含苯、醇、酮、醛等高浓度有机废气，成分复杂且持续排放。

废气成分：苯、醇、酮、醛等VOCs。

处理工艺：

湿法洗涤：碱液或酸液喷淋塔去除酸碱性气体及部分有机物。

生物过滤器：微生物降解生物降解性好的有机废气。

催化燃烧：贵金属催化剂氧化分解难生物降解的有机物。

最终效果：废气排放浓度显著降低，达到国家排放标准，实现环保合规。