对于VOC等有机废气这类气体，可以通过热破坏法来直接和辅助燃烧有机气体，最终达到降低有机物浓度，使其不再具有危害性的一种处理方法。

对于浓度较低的有机废气处理效果比较好，因此，在处理低浓度废气中得到了广泛应用。这种方法主要分为两种，即直接火焰燃烧和催化燃烧。直接火焰燃烧对有机废气的热处理效率相对较高，一般情况下可达到99%。而催化燃烧指的是在催化床层的作用下，加快有机废气的化学反应速度。这种方法比直接燃烧用时更少，但是如果离开催化剂辅助，则无法发挥作用。

现阶段，可作为催化剂使用的大都是金属、金属盐。这两种催化剂的催化效果虽说比较好，技术也已经相当成熟，但是其价格却比较高，所以处理成本也就比较高。近年来，催化剂研制多集中在非贵金属催化剂方向，取得了比较大的进展。